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半导体石英管清洗机设备
新闻来源：    点击数：275    更新时间：2009-8-14 23:35:11    收藏此页
半导体石英管清洗机设备

1.本石英管清洗设备适用于2″—12″石英管清洗，同时也可以清洗其它可以放入清洗槽中石英槽、石英器皿等。
2.达到芯片生产线石英管洁净度,全自动汽缸式机械手
3.设备主要组成由机架（SUS）、清洗槽（PTFE）、整机包板（PVC）、药液供给、废液回收、空气净化、电气控制、机械传动等组成。
4.本设备 LCD触摸屏可视操作人机界面，便于操作，本设备除上料、下料需人工外，其它工序均可自动完成，适用于批量连续生产
5.设备设计为全封闭结构，并设有排气口。密封性能及抽风效果保证药液挥发的气体在使用和非使用情况下，不会大量泄漏，工作环境符合国家有关环保、人身安全等标准或要求。
6.清洗过程为全自动，并有自动/手动功能。
7.清洗时间应能自动控制，时间从0-59：59分钟可调，状态显示。
8.循环泵有自动/手动两种选择，自动条件下，清洗开始时，循环泵开启，清洗结束自动结束。循环系统进出口要配置压力显示仪表。
9.所有循环泵、风机、马达都标有旋转方向。
10.设备有紧急和异常报警装置。
11.所有箱件、管道、过滤器外壳、泵体、阀门及工装均为PVC结构；
12.相应槽内有液位过低报警。
13.设备有良好的接地装置。
14.主体材质为SUS，外为PTFE膜保护，室温长期工作下无损坏，不变形。
可抵强酸环境下的腐蚀。尺寸应能与清洗槽相匹配，并能满足生产能力的要求，必要时可与订购方协商确定。
15.本石英管清洗设备安装活动门，方便快速维修管道、过滤器、泵、等部件，保证生产需要。
16.控制程序设置密码锁定，以防无关人员无意中修改了设备参数值。
17.泵功率、槽体尺寸及整体设计方案均保证清洗效果、生产能力达到厂家要求。
18.安全方面：空气测量计可保证工作环境的安全，如有异常可自动报警。
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